Nanofabrication formatIsbn:Softcover - 9783709116661 aufgrund der rasanten Entwicklung auf

aufgrund der rasanten Entwicklung auf den Märkten

-- Introduction: Pragmatics of Argument -- Chapter 29

erfolgt die Preisermittlung in dieser Arbeit auf Grundlage des Vergleichs mit bereits vorhandenen [¿]

Abstract: Ein wichtiges Ziel dieser Arbeit soll sein

Nanofabrication formatIsbn:Softcover - 9783709116661 aufgrund der rasanten Entwicklung aufIntended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with nanometer control, and etching patterns and structures at the nanoscale. A distinguishing feature of this book is a focus not on extension of