Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices W. Vogel & M. Büttner GmbH stellt die beteiligten Institutionen vor

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wenngleich in ihnen ein Hauptgrund für den Zusammenbruch der Preußischen Seehandlung zu finden ist

stellen an die Mitarbeiter hohe Anforderungen

Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices W. Vogel & M. Büttner GmbH stellt die beteiligten Institutionen vorAn extrapolation of ULSI scaling trends indicates that minimum feature sizes below 0. 1 mu and gate thicknesses of <3 nm will be required in the near future. Given the importance of ultrathin gate dielectrics, well focused basic scientific research and aggressive development programs must continue on the silicon oxide, oxynitride, and high K materials on silicon systems, especially in the critical, ultrathin 1 3 nm regime. The main thrust of the